리토그래피 기계의 안정적인 작동을 유지하기 위해서는 리토그래피 기계 내부에 냉각 시스템을 설정해야합니다.리토그래피 기계의 냉각 시스템은 주로 물 냉각을 포함한다, 강압 공기 냉각, 냉각물질, 수소 및 헬륨 및 다른 방법, 물 냉각이 주류입니다.리토그래피 기계 내부의 물 냉각 시스템은 물 파이프를 통해 내부 라디에터를 통해 물을 통과, 내부 고온 부품을 통과 할 때 열을 제거하고 외부 라디에터를 통해 열을 분산합니다.따라서 리토그래피 기계 내부의 낮은 온도 환경을 유지하고 리토그래피 기계의 안정적인 작동을 보장합니다..